晶圓級半自動顯微薄膜量測分析儀(TIM-10STFMV-XG)是一款高性能的薄膜檢測系統，專門設計用以精確測量薄膜之厚度與折射率。本系列產品整合了顯微系統，並搭配X-Y移動平台，能夠迅速有效地針對微小區域測量並建立薄膜厚度分布；用戶更能便捷地選擇極座標、矩形或線性等多種佈點模式，並可直接使用內建的多種佈點設置。此系統使用大理石平台加強機械結構以確保量測的穩定性和精準度，可針對有圖案化的晶圓進行快速、精確且高重複性的多層薄膜厚度與折射率測量；搭載之i-Spec軟體更結合了控制、測量及分析功能於一體，將專業薄膜技術與簡潔直觀的操作界面相結合；設置方式簡便，透過USB連接即可在幾分鐘內完成，操作人員僅需短暫培訓即可輕鬆上手使用此儀器。 綜合前述優點，使得此成為市場上最具使用便利和技術先進性的薄膜厚度測量工具之一。