反射光譜式橢圓偏振儀(TIM-10EPV)是將反射式光譜儀與橢圓偏振儀整合，不僅具備傳統橢圓偏振的分析能力，也因加入反射式光譜的量測概念，為分析提供了更全面的資料，且更有效地克服以往操作橢圓偏振儀時，對分析人員經驗的過度依賴。藉由此二種技術結合，除了能提高分析準確性，有助於確定物理模型與薄膜特性，更能減少實驗數據與理論預測之間的差異，進一步提升薄膜分析和應用的效率與可靠性。