兆鈞精心設計的薄膜標準片，以標準 Si 基板製作，於同一片基板上整合三種不同的表面性質，以便進行多樣化光學量測與校正，規格如下：
 

1. SiO₂ 薄膜區：
   • 鍍膜材質：二氧化矽 (SiO₂)
   • 膜層厚度：~ 1000 nm
   • 用途：適用於薄膜厚度量測與校正
2. 裸矽晶圓區：
   • 未鍍膜之標準矽基板
   • 用途：作為基準面 (Baseline) 校正
3. 鋁反射鏡區：
   • 鍍膜材質：鋁 (Al) + SiO₂ 保護層
   • 用途：鏡面反射率校正與量測