型號: Interferometer

干涉儀

動態干涉儀

藉由白光的低同調特性,將樣品和參考面反射的光線經過一分光鏡結合產生干涉波前,計算相位差重建表面形貌高度,且克服干涉技術為一非動態測量的限制。透過軟體分析可同時處理多重干涉訊號,重建薄膜樣品之薄膜厚度、頂部和底部表面形貌。
干涉儀
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