藉由白光的低同調特性，將樣品和參考面反射的光線經過一分光鏡結合產生干涉波前，計算相位差重建表面形貌高度，且克服干涉技術為一非動態測量的限制。透過軟體分析可同時處理多重干涉訊號，重建薄膜樣品之薄膜厚度、頂部和底部表面形貌。