型號: StandardFilm

薄膜量測分析儀用標準片

兆鈞精心設計的薄膜標準片,以標準 Si 基板製作,於同一片基板上整合三種不同的表面性質,以便進行多樣化光學量測與校正,規格如下:
 
  1. SiO₂ 薄膜區:
    • 鍍膜材質:二氧化矽 (SiO₂)
    • 膜層厚度:~ 1000 nm
    • 用途:適用於薄膜厚度量測與校正
  2. 裸矽晶圓區:
    • 未鍍膜之標準矽基板
    • 用途:作為基準面 (Baseline) 校正
  3. 鋁反射鏡區:
    • 鍍膜材質:鋁 (Al) + SiO₂ 保護層
    • 用途:鏡面反射率校正與量測

 
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